반도체 및 LCD장치 전문업체인 주성엔지니어링(대표이사 황철주)이 나노급 소자제작에 필수적인 최첨단 300mm용 원자층 증착 장치(ALD System / 모델명 : CYCLONE)를 세계적인 일본 소자업체에 3월 15일 출하했다고 밝혔다. 주성의 사이클론 ALD장치는 300mm 웨이퍼를 동시에 4장 처리할 수 있는 챔버 2개로 구성되어 있으며 200mm 및 300mm 대응이 가능한 장치로 지난달 하이닉스 양산라인에 2대의 장치를 공급하여 호평을 받고 있으며 이번에 처음으로 일본시장에 진출한다. 주성의 사이클론 ALD 장치는 고품질 박막 형성이 가능할 뿐만 아니라 기존 매엽식 ALD장치의 양산성 한계를 비약적으로 개선한 장치로 다른 장비업체보다

한발 앞선 장치 출시 및 마케팅으로 급성장하고 있는 전세계 ALD 장치시장 선점이 가능하게 되었다.

플래시 메모리 등 메모리 소자의 시장증가율이 여타 소자의 시장증가율을 앞서고 있는 시점에이번 일본 소자업체의 장치 공급을 계기로 일본내 다른 회사 및 다른 지역의 소자업체로의 파급 효과 및 향후 장치 공급의 기틀을 마련하게 되었을 뿐만 아니라 전세계 반도체 시장에서의 주성 제품의 브랜드 가치가 크게 높아지게 되었다. 한편 주성의 ALD장치는 DRAM의 Capacitor 절연막 및 비메모리 공정에도 사용할 수 있는 장치로 적용 제품군의 다변화가 가능하여 급변하는 시장 변화에 적극 대응할 수 있어 주성의 반도체 부문 매출증대에 큰 기여를 할 것으로 예상된다.