주성엔지니어링이 9월 22일 제4차 반도체기술경진대회 반도체장비/재료부문에서 대상을 수상하였다고 밝혔다. 산업자원부가 주최하고 반도체산업협회가 주관이 되어 진행되는 반도체기술경진대회는 세계 최고 수준인 메모리반도체의 경쟁우위 유지 및 취약한 비메모리반도체의 기술력 향상, 반도체장비 및·재료 등 저변산업의 경쟁력 확보, 반도체산업 관련 산업계,학계 연구활동 장려를 위해 매년 개최되며, 반도체 관련 업계들이 참여하여 최신 기술에 대한 평가를 받는 자리이다.

이번에 주성이 대상을 수상한 반도체장치 기술은 차세대 장치에 적용될 SEMI BATCH TYPE의 ALD(Atomic Layer Deposition 원자층증착장치)기술로 기존 원자층 증착 기술의 가장 큰 단점인 낮은 생산성 문제를 해결하기 위해 한꺼번에 웨이퍼 4장을 처리할 수 있도록 개발된 기술로 높은 생산성을 갖고있다. 또한, 기존의 ALD장치가 “Pure ALD” 혹은 “Cyclic CVD”를 병행하기 어려운데 반해 주성이 개발한 ALD장치는 “Pure ALD” 및 “Cyclic CVD” 공정을 병행할 수 있다는 특징을 갖고 있다. 제품개발의 내용 및 수준, 제품의 기술성, 제품의 시장성, 제품의 독창성, 제품의 장래성 5가지 항목에 의해 심사를 받은 반도체 장치, 재료부문에서 주성은 가장 높은 점수를 받아 산업자원부 장관상 대상을 수상하게 되었다.