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주성, 하이닉스社에 원자층증착장치(ALD) 공급
2003-07-01 / 조회수 503
주성엔지니어링이 하이닉스사와 20억원 상당의 원자층증착장치(ALD)의 공급계약을 체결했다고 7월 1일 공식발표했다. 이번에 공급하는 ALD장치는 차세대 소자 양산을 목표로 개발된 장치로 품질과 양산성 검증을 위해 지난 해 하이닉스사에 공급되었고 이번에 성능을 인정 받아 정식계약을 체결하게 되었다.
이번 계약이 크게 주목 받는 이유는 기존에 주성이 세계적 기술력을 인정 받았던 CVD(화학 기상 증착)가 아닌 ALD(원자층 증착)라는 신공정 장치분야에 있어서도 탁월한 양산결과를 산출하였기 때문으로 분석된다. 주성이 지난 2년간 개발을 집중해 온 이 ALD 장치는 그간 해외의 소자 업체들로부터 까다로운 평가 절차를 거쳐 왔고, 지난 달에는 미국의 로직 업체에 ALD 및 CVD 복합장치의 공급계약을 체결했다고 밝힌 바가 있다. 현재 주성의 ALD 장치는 전세계 주요 고객사들로부터 집중적인 관심과 평가를 받고 있다고 관계자는 전했다.
주성은 그 동안 CVD 전문 기업에서 벗어나, 국내업체 최초로 LCD용 CVD장치의 대만수출계약을 맺고 또한 Dry Etch 장치의 개발도 성공적으로 마무리 하는 등, 사업 다각화에 성공을 거두었다는 평가를 받고 있으며, 해외 신규 고객과의 공급계약, 첨단 신공정 장치의 출하 등으로 그간 침체되어있던 매출 신장에 대한 높은 가능성을 보여주고 있어 2003년은 주성의 본격적인 종합 장치 maker로써의 도약을 기대할 수 있을 것으로 예상된다.