반도체 및 TFT-LCD 전공정 장치 업체인 주성엔지니어링(대표 황철주)은 미국 AKT와 AKT의 LCD 장비 조립회사인 A1엔지니어링 두 회사를 상대로, 특허권 침해금지에 대한 소송을 서울중앙지방법원에 제소했다고 4일 밝혔다.

주성이 이번에 제소한 특허기술은, LCD 기판이 대형화 됨에 따라 PECVD 장치의 가스분배판도 그 크기가 2m를 넘게 되면서, 고온의 챔버 내부 환경에 따른 변형 가능성을 개선한 공정 챔버 구조에 관한 것으로, 해당 기술은 대면적PECVD장치에서는 필수적인 기술로 여겨지고 있다.

또한 이 기술은 대면적 LCD 용 PECVD 장치뿐만 아니라, 차세대 성장 동력으로 최근 시장진입에 성공한 대면적 Solar Cell 장비에도 적용된 바가 있다.

주성은 연간 200억원 이상의 연구개발비를 투입해 첨단장비 개발을 추진하고 있으며, 국내외에 총 860여건의 특허 출원 및 등록을 통해 특허적 안정성은 물론 배타적 경쟁력을 확보하기 위한 노력을 경주하고 있다고 관계자는 밝혔다.

* AKT : 미국 Applied Materials Inc.의 자회사