​주성엔지니어링이 6세대 LCD용 PECVD장치(제품명 : EUREKA6000)를 개발 완료하여 곧 양산에 적용할 예정이라고 8월 5일 발표하였다. 지난 해 국내업체 최초로 5세대 LCD용 PECVD장치의 양산 시장 진입에 성공하여 반도체 및 LCD의 전공정 전문 업체로써 사업다각화에 성공한 주성은 국내, 외 주요 LCD업체들이 계획하고 있는 6세대 설비투자에 맞춰 장치 개발을 완료하여 더욱 관심의 대상이 되고 있다.

이번 6세대용 PECVD 장치는 대폭 커진 기판(1,500×1,850/신문 6장을 펼친 크기)을 처리하기 때문에 여러 가지 물리적 한계에 의하여 플라즈마의 균일도 확보가 제약을 받게 되는데, 주성의 이번 개발 장비는 챔버의 우수한 설계 특성에 의하여 이런 문제점들을 모두 해결하여 기존의 5세대와 같은 막 균일도를 확인하였다고 밝혔다. 또한 기판 크기에 비례하여 반응 챔버도 대형화가 진행되면서 처리 속도가 저하되고 한 장비에 부착 가능한 챔버 수가 줄어 들게 되어 생산성의 확보가 무엇보다 중요한 과제인데, 주성의 이번 개발 제품은 기판 반송과 관련한 플랫폼 기술을 주성의 고유 특허를 채용하여 장치 전체 크기를 작게 유지하면서 5세대와 마찬가지로 총 6개의 공정 챔버를 부착할 수 있게 하였고 결과적으로 생산성은 오히려 5세대 장치보다 25% 증가되어 확실한 경쟁 우위를 확보할 수 있게 되었다고 설명하였다.

또한 이 관계자는 또 6 세대용 LCD장치는 5 세대 장치보다 대당 가격이 일반적으로 25%~50% 정도 높으며, 이번 완성된 주성의 6 세대 장치 기술은 7 세대 장치 개발에까지 연장시킬 수 있는 혁신적인 기술이기 때문에 개발 기간 단축은 물론 세계 시장에서의 경쟁 우위를 확보할 수 있을 것이라 전했다.

LCD용 PECVD 장치는 외국계 회사가 거의 독점 공급하던 장치로 이번 주성의 5 세대 장치에 이은 6 세대 장치 개발 성공을 계기로 LCD용 핵심 공정 장치 분야에서도 상당 부분 국산화에 성공했다는 의미를 부여할 수 있게 되었다. 주성은 6 세대 LCD 용 PECVD 분야에서도 본격적인 양산체제를 구축하였으며 이미 국내, 외 LCD 장비 수요 업체와의 활발한 접촉이 진행 중인 것으로 알려져 있다. 주성은 국내 업체 최초로 10월 대만 CMO社에 5세대용 PECVD장치를 공급할 예정이며, 반도체에 있어서도 최근 국내 및 미국, 유럽 등지에 ALD 및 CVD 장치 공급 계약을 맺는 등, 제품 다각화 및 고객 다변화에 성공했다는 평가를 받고 있다.